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R-14主要用途
R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体，其气及四氟甲烷气配氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R-14物化性质
冷媒名称
R-14
分子量
88.0
沸点（1atm），℃
-128
临界温度，℃
-45.67
临界压力，kPa
3740
饱和蒸气压（25℃），kPa
3650（-45.6℃）
汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg
-
破坏臭氧潜能值（ODP）
0
全球变暖潜能值(GWP，100 yr)
5700
ASHRAE安全级别
A1（无毒不可燃）
R-14冷媒包装
可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：7kg/瓶，32kg/瓶。
